DN Solutions introduceert slijpmachines voor de halfgeleiderindustrie

De naam DNC staat voor DN Solutions Ceramic en verwijst naar de lijn machines die is ontwikkeld voor keramiekbewerking. In de halfgeleiderproductie worden verbruiksdelen zoals focusringen ingezet in proceskamers die blootstaan aan hoge temperaturen en chemische invloeden. Daarom worden deze onderdelen vervaardigd uit materialen als kwarts, keramiek en siliciumcarbide (SiC), die bekendstaan als zeer moeilijk te bewerken.

Kwarts vormt daarbij een bijzondere uitdaging. Het materiaal is hard, maar broos en gevoelig voor breuk. Zelfs met dure diamantgereedschappen ontstaan vaak microbarsten of breuken. Bovendien is kwarts extreem gevoelig voor verontreinigingen, waardoor een uitzonderlijk schone bewerkingsomgeving noodzakelijk is. Om aan deze eisen te voldoen, heeft DN Solutions voor de DNC-serie een nieuwe slijpspindel ontwikkeld met een toerental van 10.000 min^-1 en een vermogen van 7,5 kW. Deze spindel combineert hoge productiviteit met nauwkeurige bewerking van moeilijk verspaanbare materialen.

Beheersing van trilling en warmte

Bij conventionele slijpsystemen kunnen langdurige bewerkingen leiden tot trillingen en thermische vervorming, wat de nauwkeurigheid beïnvloedt. De DNC-serie voorkomt dit door een monolithische, stijve machinebasis en hoognauwkeurigere geleidingen. Deze constructie onderdrukt trillingen en beperkt thermische afwijkingen, waardoor structurele stijfheid en maatvastheid behouden blijven, ook bij langdurige ononderbroken productie. Hierdoor biedt de DNC-serie niet alleen langdurige nauwkeurigheid, maar ook een langere levensduur van machine en gereedschap.

Schone oplossingen

Tijdens het slijpen ontstaat fijn kwartsstof of slib, dat bij onvoldoende beheersing tot ernstige storingen kan leiden. DN Solutions heeft dit probleem opgelost met een volledig gesloten schuifafdekking die het schuine machinebed afschermt tegen koelmiddel en stof. Daarnaast maakt een rechte, afneembare koelvloeistoftank het reinigen en verwijderen van slib eenvoudiger. De DNC-serie beschikt tevens over een interne spindel voor automatisch dressen. Tijdens het slijpen kan het oppervlak van de slijpschijf geleidelijk verstopt raken met restmateriaal, wat de snijprestaties vermindert. Waar conventionele machines hiervoor stilgezet moesten worden, voert de DNC-serie dit proces automatisch en zonder onderbreking uit. Dit verhoogt de continuïteit en efficiëntie van het productieproces.

Multifunctionaliteit en automatisering

Naast slijpen combineert de DNC-serie ook de functies van een bewerkingscentrum en een draaimachine. Hiermee kunnen binnen- en buitendiameters, gaten en contouren in één opspanning worden bewerkt. De machines zijn uitgerust met een automatische gereedschapswisselaar (ATC), een automatisch gereedschapsmeetsysteem en een automatisch werkstukmeetsysteem. Deze functies maken volledig geautomatiseerde bewerkingen mogelijk, verminderen de werklast van de operator en waarborgen stabiele productie.