Kleine stootdempers aan zet bij productie halfgeleiders

In de halfgeleiderindustrie wordt steeds meer gewerkt aan kleinere, efficiëntere, snellere en goedkoper geproduceerde geïntegreerde schakelcircuits. Met de vooruitgang in de micro-elektronica worden steeds hogere eisen gesteld aan de handlingsystemen die verantwoordelijk zijn voor het schone en veilige transport van de wafers. In een maatwerktoepassing beschermen tien kleine stootdempers van ACE Stoßdämpfer alle lineaire assen.

De met behulp van speciale software uitgewerkte oplossingen worden op de testbank van ACE getest.

Fotolithografie is een sleuteltechnologie bij de fabricage van micro-elektronische componenten en schakelcircuits en bij de productie van microsystemen. In dit proces wordt een patroon van een fotomasker overgebracht naar een lichtgevoelige, dunne laag fotolak op een wafer.

Om een vlekkeloze productie te garanderen, besteden de engineers de grootste zorg aan zowel de programmering van de geautomatiseerde processen als de bewaking ervan. Vanwege de grote vraag naar microprocessors en geheugenchips, en omdat beperking van het uitvalrisico van het grootste belang is bij de productie van wafers, werken veel chipfabrikanten met eigen leveranciers van handlingsystemen.

Deze rusten hun ontwerpen doorgaans uit met hoogwaardige, beproefde standaardcomponenten voor aandrijvingen, besturingen en lineaire assen.

Om deze assen optimaal met robuuste, mechanische machineonderdelen te kunnen beschermen, werd contact gezocht met ACE Stoßdämpfer. De Duitse stootdemperspecialist biedt namelijk ook maatwerkoplossingen aan. Ervaren engineers ontwikkelen deze exact conform de eisen van halfgeleiderfabrikanten. Met behulp van speciale software wordt een oplossing uitgewerkt, die op de testbank van ACE wordt getest. Zo kunnen alle productieassen goed worden beschermd en wordt beschadiging tijdens de handling voorkomen.

Van standaard naar maatwerk

Voor de productie van chips worden nauwkeurige, wrijvingsloze assen in een handlingsysteem geïnstalleerd. Volgens de fabrikant mogen de X- en Y-as en de centrale as bij een crash slechts met de maximaal toegestane krachten worden belast, om er 100 procent zeker van te zijn dat het systeem niet wordt beschadigd.

Daarom moesten de drie assen hier worden uitgerust met drie verschillende types kleine stootdempers uit het assortiment van ACE. Voor de Y-as werden vier kleine stootdempers met M20 schroefdraad gebruikt; voor de X-as eveneens vier, maar met M18 schroefdraad; en voor de centrale as twee met M25 schroefdraad. De engineers van ACE kregen bovendien informatie over de maximale reactiekracht bij een crash.

Bij de Y-as waren de parameters per demper bijvoorbeeld als volgt: massa, m = 95,85 kg en de snelheid, v = 1,08 m/s, en komt daarmee overeen met een kinetische energie van 55,90 Nm. De maximale toegestane reactiekracht voor deze as was 5.700 Nm. Op basis van deze informatie werd op de R&D-afdeling in een tweede stap het bijbehorende boorpatroon voor de passende types kleine stootdempers gesimuleerd. Men slaagde erin om de energie en snelheid gelijkmatig over de gehele slaglengte van 14 mm te vertragen en daarbij de maximale reactiekracht tot circa 5.300 Nm terug te brengen.

ACE kon met behulp van mechanische onderdelen ook voldoen aan de gespecificeerde waarden voor de best mogelijke bescherming van de andere twee assen. In een derde en laatste stap werden de kleine stootdempers, die op basis van de simulatie op maat werden gemaakt, na uitvoerige tests aan de klant geleverd. De tien kleine stootdempers van ACE beschermen nu alle drie de bewegingsassen van een handlingsysteem dat wordt gebruikt voor de productie van wafers.

Kleine stootdempers ACE: oplossingen voor vele toepassingen

De drie verschillende kleine stootdempers met schroefdraad in de maten M18 tot M25 in de beschreven toepassing zijn exemplarisch voor de tien productseries van kleine stootdempers van ACE.

De kleine stootdempers van ACE zijn oplossingen voor vele toepassingen.

De kleine stootdempers van ACE zijn oplossingen voor vele toepassingen.

Daartoe behoren ook dempings- en remelementen van roestvrij staal, die voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderindustrie én aan de hygiënevoorschriften in de medische technologie of de voedingsmiddelenindustrie. Bepaalde modellen van de compacte, onderhoudsvrije, hydraulische machineonderdelen werken indien nodig ook rechtstreeks in de pneumatische cilinders.

Zij verminderen de belasting daar even goed als bij gebruik in miniatuurgeleidingen in handlingapparatuur en in vele andere industriële toepassingen. Innovatieve afdichtingstechnieken en de stootdemperbehuizingen, gemaakt van gelegeerd hogesterktestaal, garanderen hoge standtijden. Naast een assortiment van toebehoren, zoals geleidingspennen, biedt ACE ook stootdempers met speciale schroefdraadmaten, vloeistoffen, andere slaglengtes en in speciale uitvoeringen aan.

ACE is deelnemer aan de Precisiebeurs (hal 1, stand 335)

Bedrijvengids

Ook interessant voor jou

Toeleveren

Tubus structuurdempers in actie op filmsets

30-09 “Niets is zo goed dat het niet nog verder verbeterd kan worden”, zegt Mark…

Verspanen

Precisiebeurs 2024 zet internationale samenwerking centraal

17-06 Tijdens de vorige editie in 2023 werd al duidelijk dat de interesse in de…

Personeel en Opleiding

Wim van der Hoek Prijs voor het eerst naar een duo

27-11 De prijs van de DSPE (Nederlandse Vereniging voor Precisietechniek) werd aan hen uitgereikt tijdens…

Verspanen

Groei Precisiebeurs onderstreept voortrekkersrol hightechsector

22-11 Nederland streeft ernaar zijn positie als voorloper in de hightechsector verder te versterken. Dit…

Verspanen

Hightech maakindustrie weet Precisiebeurs te vinden

15-11 De vraag naar hightech producten blijft maar toenemen, waardoor ook de precisietechnologie zich razendsnel…

Oppervlaktetechniek

Ecoclean geeft antwoorden voor transformatieprocessen

09-11 Hierdoor kunnen naast installaties en systemen voor taken in bestaande industriële sectoren zoals de…

Verspanen

Gibac biedt oplossingen voor EUV-uitdagingen

08-11 De vereisten vanuit de EUV-lithografie zijn complex. Want EUV-lithografiesystemen zijn momenteel de meest geavanceerde…

Verspanen

Dymato presenteert baanbrekende technologieën

08-11 Röders heeft al zijn expertise samengebracht in het nieuwe RPT600 DSH vijfassige bewerkingscentrum, dat…

Metaalnieuws inBeeld

21/03/2024

TechniShow 2024 - The Final Review

16/03/2024

Sfeerimpressie dag 3 en 4 op de TechniShow 2024

16/03/2024

54U Media op de ESEF Maakindustrie 2024

16/03/2024

54U Media, de uitgever in de Metaal sprak op de TechniShow met Anco Euser van Widenhorn BV