Kleine stootdempers aan zet bij productie halfgeleiders

In de halfgeleiderindustrie wordt steeds meer gewerkt aan kleinere, efficiëntere, snellere en goedkoper geproduceerde geïntegreerde schakelcircuits. Met de vooruitgang in de micro-elektronica worden steeds hogere eisen gesteld aan de handlingsystemen die verantwoordelijk zijn voor het schone en veilige transport van de wafers. In een maatwerktoepassing beschermen tien kleine stootdempers van ACE Stoßdämpfer alle lineaire assen.

De met behulp van speciale software uitgewerkte oplossingen worden op de testbank van ACE getest.

Fotolithografie is een sleuteltechnologie bij de fabricage van micro-elektronische componenten en schakelcircuits en bij de productie van microsystemen. In dit proces wordt een patroon van een fotomasker overgebracht naar een lichtgevoelige, dunne laag fotolak op een wafer.

Om een vlekkeloze productie te garanderen, besteden de engineers de grootste zorg aan zowel de programmering van de geautomatiseerde processen als de bewaking ervan. Vanwege de grote vraag naar microprocessors en geheugenchips, en omdat beperking van het uitvalrisico van het grootste belang is bij de productie van wafers, werken veel chipfabrikanten met eigen leveranciers van handlingsystemen.

Deze rusten hun ontwerpen doorgaans uit met hoogwaardige, beproefde standaardcomponenten voor aandrijvingen, besturingen en lineaire assen.

Om deze assen optimaal met robuuste, mechanische machineonderdelen te kunnen beschermen, werd contact gezocht met ACE Stoßdämpfer. De Duitse stootdemperspecialist biedt namelijk ook maatwerkoplossingen aan. Ervaren engineers ontwikkelen deze exact conform de eisen van halfgeleiderfabrikanten. Met behulp van speciale software wordt een oplossing uitgewerkt, die op de testbank van ACE wordt getest. Zo kunnen alle productieassen goed worden beschermd en wordt beschadiging tijdens de handling voorkomen.

Van standaard naar maatwerk

Voor de productie van chips worden nauwkeurige, wrijvingsloze assen in een handlingsysteem geïnstalleerd. Volgens de fabrikant mogen de X- en Y-as en de centrale as bij een crash slechts met de maximaal toegestane krachten worden belast, om er 100 procent zeker van te zijn dat het systeem niet wordt beschadigd.

Daarom moesten de drie assen hier worden uitgerust met drie verschillende types kleine stootdempers uit het assortiment van ACE. Voor de Y-as werden vier kleine stootdempers met M20 schroefdraad gebruikt; voor de X-as eveneens vier, maar met M18 schroefdraad; en voor de centrale as twee met M25 schroefdraad. De engineers van ACE kregen bovendien informatie over de maximale reactiekracht bij een crash.

Bij de Y-as waren de parameters per demper bijvoorbeeld als volgt: massa, m = 95,85 kg en de snelheid, v = 1,08 m/s, en komt daarmee overeen met een kinetische energie van 55,90 Nm. De maximale toegestane reactiekracht voor deze as was 5.700 Nm. Op basis van deze informatie werd op de R&D-afdeling in een tweede stap het bijbehorende boorpatroon voor de passende types kleine stootdempers gesimuleerd. Men slaagde erin om de energie en snelheid gelijkmatig over de gehele slaglengte van 14 mm te vertragen en daarbij de maximale reactiekracht tot circa 5.300 Nm terug te brengen.

ACE kon met behulp van mechanische onderdelen ook voldoen aan de gespecificeerde waarden voor de best mogelijke bescherming van de andere twee assen. In een derde en laatste stap werden de kleine stootdempers, die op basis van de simulatie op maat werden gemaakt, na uitvoerige tests aan de klant geleverd. De tien kleine stootdempers van ACE beschermen nu alle drie de bewegingsassen van een handlingsysteem dat wordt gebruikt voor de productie van wafers.

Kleine stootdempers ACE: oplossingen voor vele toepassingen

De drie verschillende kleine stootdempers met schroefdraad in de maten M18 tot M25 in de beschreven toepassing zijn exemplarisch voor de tien productseries van kleine stootdempers van ACE.

De kleine stootdempers van ACE zijn oplossingen voor vele toepassingen.

De kleine stootdempers van ACE zijn oplossingen voor vele toepassingen.

Daartoe behoren ook dempings- en remelementen van roestvrij staal, die voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderindustrie én aan de hygiënevoorschriften in de medische technologie of de voedingsmiddelenindustrie. Bepaalde modellen van de compacte, onderhoudsvrije, hydraulische machineonderdelen werken indien nodig ook rechtstreeks in de pneumatische cilinders.

Zij verminderen de belasting daar even goed als bij gebruik in miniatuurgeleidingen in handlingapparatuur en in vele andere industriële toepassingen. Innovatieve afdichtingstechnieken en de stootdemperbehuizingen, gemaakt van gelegeerd hogesterktestaal, garanderen hoge standtijden. Naast een assortiment van toebehoren, zoals geleidingspennen, biedt ACE ook stootdempers met speciale schroefdraadmaten, vloeistoffen, andere slaglengtes en in speciale uitvoeringen aan.

ACE is deelnemer aan de Precisiebeurs (hal 1, stand 335)

Bedrijvengids

Ook interessant voor jou

Verspanen

Precisiebeurs groeit mee met ambities hightech industrie

21-11 “We zien nu nog meer dan ooit dat de gehele precisietechnologie waardeketen behoefte heeft…

Verspanen

Snel en foutloos meten

10-11 Op het gebied van meettechniek heeft Hoffmann Group alles onder één dak. De ervaren…

Verspanen

Populaire Precisiebeurs blijft groeien

09-11 De vraag naar nog nauwkeuriger en kleiner meten, produceren en construeren groeit al jaren.…

Toeleveren

Oplossingen voor Grade 1 en 2 metaalbewerking en cleaning

09-11 Dit doet Gibac, partner voor verspanende en niet-verspanende vloeistoffen, filtratieprocessen alsmede precisie reiniging voor…

Verspanen

Ecoclean biedt optimaal aangepaste oplossingen voor precisie- en high-purity toepassingen

02-11 Hoewel de concrete specificaties variëren afhankelijk van het onderdeel, de industriesector en het toepassingsgebied,…

Verspanen

Mikrocentrum wordt clubhuis voor DSPE

14-04 Beide organisaties delen een lange geschiedenis. Die begon al in 1968 tijdens de oprichting…

Toeleveren

Winterse topprestaties met ACE gasveren

07-03 Aarts was in 2020 de enige atleet met een zware lichamelijke beperking die met…

Toeleveren

Maatwerk met Magnum demper van ACE

30-11 Door vooraf berekende specificaties, zoals het verkorten van de slaglengte en optimalisatie van de…

Metaalnieuws inBeeld

20/04/2022

Komt u ook naar de MIX Noordoost 2022

09/05/2022

Morris Solutions, Retrofit beste optie voor kantbank WIFO Anema

19/02/2021

Voorbeschouwing Thema Plaatbewerking 23-02-2021

05/11/2020

Vakopleiding Techniek kweekt enthousiasme voor modern CNC verspanen